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2023-01-04

['22.12.14 우리원 보도자료] 반도체 업종 맞춤형 유해화학물질 취급시설 기준 시행

  • 작성자 곽솔림
  • 부서명 사고예방심사2과
  • 조회 278
첨부 파일
반도체 업종 맞춤형 유해화학물질 취급시설 기준 시행(보도자료 화학안전 12.14).pdf (264,745 Byte)

▷ 반도체 생산설비 특성을 고려, 밀폐 등 유·누출 방지기준 도입


환경부(장관 한화진)와 화학물질안전원(원장 박봉균)은 반도체 제조업종 맞춤형 유해화학물질 취급시설 기준*을 마련하여 12월 15일부터 시행한다.

* '반도체 제조업종 유해화학물질 취급시설 설치 및 관리에 관한 고시'(화학물질안전원 고시, 2022.12.15. 제정·시행)

 

이번 기준은 완제품 또는 모듈 형태로 설치·운영되는 반도체 제조설비의 특성으로 발생되는 기존 취급시설 기준* 적용의 어려움을 해소하고, 공정 특성에 맞게 현장 안전성과 이행력을 높이기 위해 마련된 것이다.

* 유해화학물질 제조·사용시설 설치 및 관리에 관한 고시(화학물질안전원 고시)

 

환경부와 화학물질안전원은 지난해 6월부터 학계, 검사기관*, 기업을 아우르는 전문가들과 함께 이번 기준에 대해 기술적인 검토를 했으며, 위험요소 확인을 위한 현장조사를 비롯해 노동계, 시민단체 등 다양한 이해관계자들의 자문과 의견수렴을 거쳤다.

* '화학물질관리법 시행규칙' 제22조에 따른 한국환경공단, 한국산업안전보건공단, 한국가스안전공사   

 

이번 기준의 적용 대상은 한국표준산업분류(통계청고시)에 따른 전자집적회로 제조업(2611)과 다이오드, 트랜지스터 및 유사 반도체소자 제조업(2612)에 해당되는 사업장의 제조·사용시설 중 유해화학물질을 취급하는 공급·생산 설비다.

 

반도체 취급시설 기준의 주요 내용은 다음과 같다.

 

완제품 형태의 생산설비 내 배관에 대해 '화학물질관리법' 기준에 따른 제작요구서를 첨부하여 국제인증*을 받은 설비는 '화학물질관리법' 시설 기준을 준수한 것으로 인정한다.

*  제3자 인증기관(국가인정기구 또는 상호인정 협정기관에 등록된 기관)에서 국제반도체장비재료협회(SEMI)기준 준수를 평가하여 인정

 

설비 내에 유해화학물질 누출을 감시하고, 차단·처리가 가능한 첨단 안전장치를 갖추고 있다면 기존 취급시설 기준에 따른 안전장치 기준을 충족하는 것으로 본다. 

 

또한, 안전장치를 갖추고 유해화학물질을 소량 취급하는 설비는 설비의 커버(캐비닛) 내 밀폐 공간을 유해화학물질 소량취급 시설기준에 따른 물리적 분리 공간으로 간주하여 소량취급 시설로 관리된다.

 

환경부와 화학물질안전원은 지난해 3월 격자형 발판, 이동식 집수시설 등 작업 특성을 고려한 표면처리·염색업종에 대한 맞춤형 취급시설 기준을 마련한 바 있다. 

 

그 이후, 산업계와의 소통을 통해 이번에 반도체 제조업종 맞춤형 취급시설 기준을 마련한 것이다. 

 

환경부는 맞춤형 기준을 필요로 하는 업종 및 취급공정이 더 있을 것으로 보고, 내년 상반기에 업계를 대상으로 수요를 조사할 계획이다. 아울러 현장조사, 전문가 검토 등을 거쳐 필요성이 인정되는 경우, 맞춤형 기준을 확대해 '화학물질관리법'의 현장 이행력을 높일 예정이다.

 

이형섭 환경부 화학안전과장은 "업종마다 시설 특성이 다름에도 불구하고, 그간 화학물질관리법으로 전산업에 공통으로 적용되는 기준을 운영해 왔다"라며, "앞으로도 현장 여건에 맞게 안전은 확실히 담보하면서 실효성 있는 제도로 정착할 수 있도록 노력하겠다"라고 밝혔다.

 

붙임 1. 반도체 제조업종 유해화학물질 취급시설 기준 적용범위.

        2. 반도체 제조업종 유해화학물질 취급시설 기준 주요내용.  끝.